|
|||||
|
|
| 基于碳纳米管电子源的高稳定电离真空计的性能研究（英文） | |
| 作者姓名： | 阴怡媛 李得天 张虎忠 马卓娅 习振华 李刚 张开旭 宋云见 |
| 作者单位： | 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（62171208）；;国家重点研发计划项目（2023YFF0717200）； |
| 摘 要： | 文章将碳纳米管电子源应用于高稳定电离真空计，通过结构和电参数优化，研制了样机，并开展了样机计量特性的实验研究，研究结果表明，新型电离规在6.87×10-6 Pa～6.45×10-5 Pa的压力范围内，灵敏度在0.200 Pa-1～0.245 Pa-1的范围内波动，与仿真灵敏度0.250 Pa-1的偏差最大为20%，灵敏度波动小于5.96%，证明该结构设计合理，有望应用于超高真空校准及精确测量领域。 |
| 关 键 词： | 碳纳米管电子源 电离真空计 灵敏度 |