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| Rapid Thermal Annealing of Pr~(3 ) and Eu~(3 ) Implanted Silicon | |
| 作者姓名： | 刘世祥 石万全 柳雪君 刘洪图 刘峰奇 刘磁辉 |
| 作者单位： | Liu Shixiang;Shi Wanquan;Liu Xuejun(Graduate School，Academia Sinica，Beijing 100039，China) Liu Hongtu;Liu Fengqi;Liu Cihui(University of Science and Technology of China，Hefei 230026，China) |
| 摘 要： | ＲａｐｉｄＴｈｅｒｍａｌＡｎｎｅａｌｉｎｇｏｆＰｒ~（３＋）ａｎｄＥｕ~（３＋）ＩｍｐｌａｎｔｅｄＳｉｌｉｃｏｎ￥ＬｉｕＳｈｉｘｉａｎｇ；ＳｈｉＷａｎｑｕａｎ；ＬｉｕＸｕｅｊｕｎ（ＧｒａｄｕａｔｅＳｃｈｏｏｌ，ＡｃａｄｅｍｉａＳｉｎｉｃａ，Ｂｅｉｊｉｎ... |
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