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DL—6型智能露点仪的研制
作者姓名:孙明方
作者单位:中国科学院半导体研究所
摘    要:用微机控制镜面的降温速率,从而大大提高了光电露点仪测定露点的灵敏度和测试的自动化程度.

关 键 词:露点 检测 光电露点仪 微处理机
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