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基于单光束干涉仪的机床主轴热误差实时测量
引用本文:高赛,曾理江,殷纯永,郑力,叶佩青. 基于单光束干涉仪的机床主轴热误差实时测量[J]. 计量学报, 2001, 22(1): 1-6
作者姓名:高赛  曾理江  殷纯永  郑力  叶佩青
作者单位:1. 清华大学
2. 清华大学制造工程研究所,
基金项目:国家自然科学基金! (5 9735 12 0 )、2 11工程,曹光彪基金
摘    要:主轴热误差是数控机床的主要热误差源,本提出了一种使用三路单光束干涉仪(SBI3)进行机床主轴热误码差的非接触式实时测量方法。可以快速准确地测量主轴热误差。实验结果表明,所测立式加工中心主轴热误差沿Z轴方向最大,约为50μm,测量误差约为1.0μm。

关 键 词:数控机床 主轴热误差 实时测量 单光束干涉仪
文章编号:1000-1158(2001)01-0183-06
修稿时间:1999-05-10

Real-time Measurement of Spindle Thermal Error Using Single-Beam Interferometers
GAO Sai,ZENG Li-jiang,YIN Chun-yong,ZHENG Li,YE Pei-qing. Real-time Measurement of Spindle Thermal Error Using Single-Beam Interferometers[J]. Acta Metrologica Sinica, 2001, 22(1): 1-6
Authors:GAO Sai  ZENG Li-jiang  YIN Chun-yong  ZHENG Li  YE Pei-qing
Affiliation:GAO Sai 1,ZENG Li jiang 1,YIN Chun yong 1,ZHENG Li 2,YE Pei qing 2
Abstract:Spindle thermal error is the major source of the thermal errors of CNC machine tools. In this paper a non-contact, real-time measurement method is developed to measure the spindle thermal error using SBI3 (Single-Beam Interferometers with 3 Channel). The new method is implemented on a vertical machine center and shows that it can measure the spindle thermal error quickly and accurately. Results show that thermal drift along Z axis is the greatest contributor to the spindle thermal error which can reach about 50 μm.
Keywords:CNC machine tools  Spindle thermal error  Real time measurement
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