| 多晶硅太阳电池用SiN薄膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 王晓泉,杨德仁,席珍强.多晶硅太阳电池用SiN薄膜的研究进展[J].材料导报,2002,16(3):23-25. |
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| 作者姓名： | 王晓泉 杨德仁 席珍强 |
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| 作者单位： | 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(№59976035)，教育部优秀青年教师基金，教育部博士点基金 |
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| 摘 要： | SiN薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用，已经越来越广泛地应用于多晶硅太阳电池的制造工艺中，介绍了SiN薄膜在硅太阳电池中的性质，制备方法等研究现状，同时提出了存在的问题并展望了今后的发展趋势。
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| 关 键 词： | SiN 多晶硅 PECVD 太阳电池 氮化硅薄膜 研究进展 性质 制备 |
Research Progress in SiN for Multicrystalline Silicon Solar Cells |
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| WANG Xiaoquan YANG Deren XI Zhenqiang.Research Progress in SiN for Multicrystalline Silicon Solar Cells[J].Materials Review,2002,16(3):23-25. |
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| Authors: | WANG Xiaoquan YANG Deren XI Zhenqiang |
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| Abstract: | Due to the excellent antireflection and passivation,SiN film has been applied in the high-efficiency
processing of multicrystalline silicon solar cells recently.In this paper,the properties and fabrication techniques of SiN are introduced,and existing problems and future prospect are reviewed. |
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| Keywords: | SiN multicrystalline silicon PECVD solar cells |
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