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加工参数对单晶锗表面粗糙度扇形分布的研究
引用本文:杨晓京,杨红秀.加工参数对单晶锗表面粗糙度扇形分布的研究[J].有色金属工程,2021(7).
作者姓名:杨晓京  杨红秀
作者单位:昆明理工大学,昆明理工大学
基金项目:国家自然科学基金项目(面上项目,重点项目,重大项目) 基金号:51765027
摘    要:单点金刚石车削单晶锗端面时,其表面粗糙度易呈现明暗扇形域相间分布的现象,达不到使用标准,而该现象的出现与加工参数密切相关。通过正交试验,研究了刀尖圆弧半径、切削深度、进给量对单晶锗表面明暗域粗糙度扇形分布的影响。将数据进行方差和极差分析,结果表明:刀尖圆弧半径、切削深度、进给量,对单晶锗表面粗糙度明暗扇形分布都有影响,进给量对其影响显著,而刀尖圆弧半径和切削深度对其影响较显著;刀尖圆弧半径与明暗扇形域粗糙度值成反比,进给量与明暗扇形域粗糙度值成正比;刀尖圆弧半径越小、切削深度越大、进给量越大,暗扇形域面积越大,明扇形域面积越小;将单晶锗表面明暗扇形域用扫描电镜观察,发现明扇形域表面光滑,主要发生塑性去除,暗扇形域出现较多凹坑,主要发生脆性破坏。根据极差分析,针对本试验,选出了一组最优加工方案为A3B1C1,即刀尖圆弧半径为2mm,切削深度为2μm,进给量为1μm/r。此结果可为实际加工做出一定参考。

关 键 词:单晶锗  粗糙度扇形分布  正交试验  方差分析  极差分析
收稿时间:2020/12/17 0:00:00
修稿时间:2020/12/31 0:00:00

Study on the sector distribution of single crystal germanium surface roughness by machining parameters
YangXiaojing and YangHongxiu.Study on the sector distribution of single crystal germanium surface roughness by machining parameters[J].Nonferrous Metals Engineering,2021(7).
Authors:YangXiaojing and YangHongxiu
Affiliation:Kunming University of Technology,Kunming University of Technology
Abstract:
Keywords:single crystal germanium  sector distribution of roughness  orthogonal test  analysis of variance  range analysis
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