| 铌酸锂晶片的化学机械抛光质量研究 |
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| 引用本文： | 邢彤,袁巨龙,赵文宏,曹志锡.铌酸锂晶片的化学机械抛光质量研究[J].机械工程师,2003(7):19-21. |
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| 作者姓名： | 邢彤 袁巨龙 赵文宏 曹志锡 |
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| 作者单位： | 浙江工业大学,浙江,杭州,310014 |
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| 基金项目： | 浙江省自然科学基金项目(501097)，浙江省科技厅重点计划项目(2003C21036)，浙江省青年科技人才培养专项资金项目(RC02066) |
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| 摘 要： | 采用化学机械抛光方法，在新型智能抛光机上用自制的抛光液对铌酸锂晶片进行抛光。结果证明选择适当的参数后可以得到一种超平滑表面，几乎无损伤层，且有较高的面形精度和加工效率。采用扫描探针显微镜(SPM)获得了铌酸锂晶片表面微观形貌，并测定了损伤层，分析了铌酸锂晶片的表面形成机理及其表面加工缺陷和损伤层的成因。
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| 关 键 词： | 铌酸锂 化学机械抛光 超平滑表面 |
| 文章编号： | 1002-2333(2003)07-0019-03 |
| 修稿时间： | 2003年6月3日 |
Study on the Chemo-mechanical Polishing Quality of LiNb03 Cubic Flake |
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| XING Tong,YUAN Ju-long,ZHAO Wen-hong,CAO Zhi-xi.Study on the Chemo-mechanical Polishing Quality of LiNb03 Cubic Flake[J].Mechanical Engineer,2003(7):19-21. |
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| Authors: | XING Tong YUAN Ju-long ZHAO Wen-hong CAO Zhi-xi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | lithium niobate(LiNbO 3 ) chemical mechanical polishing super smooth surface |
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