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| 衍射法细丝直径的精密测量 | |
| 引用本文： | 邾继贵,叶声华.衍射法细丝直径的精密测量[J].光电工程,1996,23(3):59-63. |
| 作者姓名： | 邾继贵 叶声华 |
| 作者单位： | 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室 |
| 摘 要： | 分析了激光衍射法测量细丝直径技术中影响精度的几个主要因素，研究了一种微弱衍射条纹的精密处理及识别技术，有效地提高了测量精度，实测结果表明，文中讨论的技术能在１０￣５０μｍ的范围内实现正负０．１μｍ的重复精度，分辨力优于０．０１μｍ。 |
| 关 键 词： | 直径测量 衍射测量术 激光无损检测 精密测量 |
Precision Measurement of the Diameter of Thin Thread by Using Diffraction Method |
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| Zhu Jigui,Ye Shenghua,Tao Guozhi.Precision Measurement of the Diameter of Thin Thread by Using Diffraction Method[J].Opto-Electronic Engineering,1996,23(3):59-63. | |
| Authors: | Zhu Jigui Ye Shenghua Tao Guozhi |
| Abstract: | |
| Keywords: | Diameter measurement Diffractometry Laser nondestructive testing Precision measurement |
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