| 基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析 |
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| 引用本文： | 汪为民,王强,邱传凯,陈泽祥,范斌. 基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析[J]. 半导体光电, 2015, 36(5): 704-707,712 |
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| 作者姓名： | 汪为民 王强 邱传凯 陈泽祥 范斌 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209;电子科技大学光电信息学院,成都610054;中国科学院大学,北京100049;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209;电子科技大学光电信息学院,成都610054;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209;电子科技大学光电信息学院,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(11403029;61071027);国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院NSAF联合基金项目(11176033) |
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| 摘 要： | ![]()
静电平行板驱动器是基于静电驱动的MEMS变形镜的关键部件,其静态及动态性能对MEMS变形镜有重要影响.设计并利用表面硅工艺加工制作了三种基于不同弹性系数的静电平行板驱动器的MEMS变形镜,分别采用解析公式和有限元仿真方法分析了弹性系数对变形镜的三项性能参数即行程、吸合电压和固有频率的影响,并利用白光表面轮廓仪进行实验测试,验证了理论和仿真结果的有效性.实验结果表明三种变形镜中半圆环梁驱动器变形镜具有适中的吸合电压和较大的行程,最适合于自适应光学系统的应用需求.
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| 关 键 词： | MEMS 静电平行板驱动器 变形镜 弹性系数 |
| 收稿时间： | 2014-12-11 |
Characteristics of MEMS Deformable Mirror Based on Electrostatic Parallel-plate Actuator |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | MEMS electrostatic parallel-plate actuator deformable mirror spring constant |
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