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MMI阵列波导光栅复用/解复用器的研制
引用本文:马慧莲,江晓清,杨建义,王明华,余金中.MMI阵列波导光栅复用/解复用器的研制[J].半导体学报,2001,22(7).
作者姓名:马慧莲  江晓清  杨建义  王明华  余金中
作者单位:1. 浙江大学信电系光电子研究所,
2. 集成光电子学国家重点实验室,
基金项目:国家自然科学基金,国家重点基础研究发展计划(973计划),国家重点实验室基金
摘    要:详细分析了基于自镜像效应的MMI DMUX器件的基本工作原理,在此基础上,在SOI材料上完成了对8信道MMI DMUX的具体设计.该器件的输入、输出单模波导采用Soref的大截面脊形光波导理论进行优化设计,最后获得了当输入、输出单模波导宽度为5μm,SIE多模波导宽度和长度分别为72μm和6313.4μm时,该器件对8信道波长的隔离度均在35dB以上,且理论传输损耗<0.18dB.

关 键 词:阵列波导光栅  复用/解复用器  多模干涉  有限差分光束传输法

Study on MMI Arrayed-Waveguide Grating MUX/DMUX
Abstract:
Keywords:
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