微型传感器家族新成员—微型接近传感器

利用MEMS(Micro Electromechanical System，微机电系统）技术制作的微型传感器是近年来传感器发展的主流之一，特点是体积小、重量轻、功耗低、功能集成度高和可靠性高等。其制造过程利用了半导体业较为成熟的工艺，能实现与之类似的大批量、高精度加工。目前，已研制出的微型传感器种类繁多，其中压力、加速度、磁(霍尔效应）、温度、光学(CCD)等传感器已有成熟商品问世。本文则将以Xiaofeng Yang (Advanced Micro Machines公司）等人研制的一种单片式传感器为例，介绍微型接近传感器这一微型传感器家族的新成员。用途及基本原理这…