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| 硅热流量传感器的研究与发展 | |
| 作者姓名： | 张昭勇秦明 黄庆安 |
| 作者单位： | 东南大学微电子中心,;东南大学微电子中心,;东南大学微电子中心, |
| 摘 要： | 本文详细地介绍了硅热流量传感器的工作原理并对它进行了细致的分类,同时概括了其发展和应用情况,最后对其目前发展过程中一些尚待解决的问题及其未来的发展趋势进行了讨论。 |
| 关 键 词： | 硅热流量传感器 MEMS |
| 文章编号： | 1005-9490(2001)01-0041-07 |
| 修稿时间： | 2001-01-11 |
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