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| Ku频段Si基异质集成MEMS表面贴装型环行器 | |
| 作者单位： | ;1.中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 摘 要： | 随着现代电子技术的发展,通信收发系统趋向小型化,对射频前端的环行器提出了小型化的迫切需求,微电子机械系统(MEMS)环行器与传统环行器相比具有尺寸小、精度高、功率高的优势。创新性地提出了一款基于MEMS工艺的可表面贴装使用的环行器,最终尺寸为6 mm×6 mm×2.6 mm,工作频率为14～18 GHz,器件损耗小于0.65 dB,隔离度大于18 dB,电压驻波比小于1.4,满足用户需求;与传统微带环行器相比,其具有精度高、一致性好、可批量化生产等特点,同时通过金属化通孔实现微波信号垂直传输,避免出现金丝/金带键合使用时的匹配复杂等难题,在通信和雷达收发组件领域有着广泛应用。 |
| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS) 表面贴装 环行器 三维异质集成 小型化 |
Ku-Band Si-Based Heterogeneous Integrated MEMS Surface-Mounted Circulator |
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| Keywords: | |