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| 隔膜式压电驱动器的制备及其在微泵中的应用 | |
| 作者单位： | ;1.上海应用技术大学理学院 |
| 摘 要： | 利用块材钛酸锆铅(PZT)材料的逆压电效应设计并制备了可用于微泵驱动的压电驱动器,通过5种结构模型的仿真分析确定了压电驱动器的隔膜式结构,在获取较大中心位移的同时有效提高了结构强度,增加了驱动器的适用性。工艺上通过键合、减薄、激光烧蚀及硅的湿法刻蚀工艺完成了器件的制备,施加频率10 Hz和100 Hz的交变信号测出了中心膜片位移与对应电压的关系,施加峰峰值为1 V的信号测得共振频率为70 kHz。基于制备的压电驱动器设计并制备了机械式带止回阀的微泵,经测试泵入、泵出功能正常。当对微泵外加峰峰值为30 V、频率为500 Hz的驱动电压信号时,每分钟能驱动的液体流量为55μL。该驱动器的驱动效果好,可进一步结合不同的微阀设计制备性能更加优良的微泵。 |
| 关 键 词： | 块材钛酸锆铅(PZT) 压电驱动器 微泵 微加工技术 微电子机械系统(MEMS) |
Preparation of the Spacer Film Piezoelectric Actuator and Its Application in the Micro-Pump |
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| Keywords: | |