超薄层材料生长技术

半导体超薄层材料的研究，依赖于先进的外延生长技术本文着重该领域的ＭＢＥ，ＭＯＣＶＤ，ＣＢＥ和ＡＬＥ的发展现状及关键技术作一综述。