| 激光微纳连接技术研究进展 |
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| 引用本文： | 张丽丽,孙树峰,王茜,张丰云,王萍萍,曹成铭,张子宾.激光微纳连接技术研究进展[J].激光与光电子学进展,2022,59(3):22-39. |
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| 作者姓名： | 张丽丽 孙树峰 王茜 张丰云 王萍萍 曹成铭 张子宾 |
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| 作者单位： | 青岛理工大学机械与汽车工程学院,山东青岛266520;山东省激光绿色高效智能制造工程技术研究中心,山东青岛266520,山东省激光绿色高效智能制造工程技术研究中心,山东青岛266520,中国矿业大学机电工程学院,江苏徐州221116;山东能源重装集团恒图科技有限公司,山东泰安271222,青岛国骐光电科技有限公司,山东青岛266109 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;山东省重点研发计划项目;山东省自然科学基金重大项目 |
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| 摘 要： | 激光微纳连接技术是实现微纳米结构、电子元器件批量化生产的基础,是微纳制造领域的关键技术.在简要介绍微纳连接技术的应用需求和主要技术方法的基础上,重点对微纳尺度的激光连接技术进行了分析和论述.首先介绍了激光连接技术的尺寸范围,然后根据其工艺特性的不同选取三种典型的激光微纳连接技术,即激光微焊接,微纳尺度的激光软钎焊和激光...
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| 关 键 词： | 激光光学 激光微纳连接 激光微焊接 激光软钎焊 激光植球 |
Research Progress of Laser Micro-Nano Connection Technology |
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| Zhang Lili,Sun Shufeng,Wang Xi,Zhang Fengyun,Wang Pingping,Cao Chengming,Zhang Zibin.Research Progress of Laser Micro-Nano Connection Technology[J].Laser & Optoelectronics Progress,2022,59(3):22-39. |
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| Authors: | Zhang Lili Sun Shufeng Wang Xi Zhang Fengyun Wang Pingping Cao Chengming Zhang Zibin |
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