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| 异质外延生长金刚石薄膜的研究 | |
| 引用本文： | 李嘉,张战.异质外延生长金刚石薄膜的研究[J].金刚石与磨料磨具工程,1996(6):8-10. |
| 作者姓名： | 李嘉 张战 |
| 作者单位： | 机械部郑州磨料磨具磨削研究所 |
| 摘 要： | 本文用氢气、丙酮作为气体源，用微波等离子体化学气相沉积方法，在ＣＢＮ单晶的（１１１）晶面及单晶硅的（１００）晶面上进行了金刚石薄膜异质外延生长的研究。用ＳＥＭ、ＭＬＲ和Ｘ－ｒａｙ衍射方法对试验结果进行了观察、分析。通过实验发现，在ＣＢＮ单晶的（１１１）晶面及单晶硅的（１００）晶面上直接实现金刚石薄膜的异质外延生是不太可能的。 |
| 关 键 词： | 金刚石 薄膜 外延生长 同质外延 异质外延 |
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