| 基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究 |
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| 引用本文： | 张昱,金心宇,陈抗生,王跃林. 基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究[J]. 仪器仪表学报, 2001, 22(4): 380-383 |
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| 作者姓名： | 张昱 金心宇 陈抗生 王跃林 |
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| 作者单位： | 1. 浙江大学信息学院
2. 上海冶金研究所 |
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| 基金项目： | 系国家自然科学基金(69236022)资助课题. |
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| 摘 要： | 本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上，证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式，使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近10^2-10^-1Pa，具有可靠性高，响应速度快等优点。
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| 关 键 词： | 硅微机械谐振传感器 单片机 闭环测控 真空测量 |
| 修稿时间： | 2000-03-01 |
Vacuum Measurement Study on Silicon Micromechanical Resonator Based on Singlechip Microcomputer |
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| Zhang Yu Jin Xinyu Chen Kangsheng Wang Yuelin. Vacuum Measurement Study on Silicon Micromechanical Resonator Based on Singlechip Microcomputer[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2001, 22(4): 380-383 |
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| Authors: | Zhang Yu Jin Xinyu Chen Kangsheng Wang Yuelin |
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| Affiliation: | Zhang Yu1 Jin Xinyu1 Chen Kangsheng1 Wang Yuelin2 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Silicon micromechanical resonator Singlechip microcomputer Closed- loop measurement and con- trol Vacuum measurement |
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