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| 固着磨料加工碳化硅反射镜的实验 | |
| 引用本文： | 王旭,张学军,徐领娣,裴舒,刘建卓.固着磨料加工碳化硅反射镜的实验[J].光学精密工程,2009,17(4). |
| 作者姓名： | 王旭 张学军 徐领娣 裴舒 刘建卓 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院,研究生院,北京,100039 2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林,长春,130033 3. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033 |
| 基金项目： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新基金 |
| 摘 要： | 考虑固着磨料加工工艺其固着磨料与工件相对运动关系固定,有利于精确加工,提出了采用该工艺加工碳化硅反射镜的方法,利用大颗粒金刚石磨料快速加工出了较好的镜面质量.在工艺实验中,分别测得了W7,W5,W3.5,W1.5 固着磨料丸片在特定转速和压力下对碳化硅材料的去除特性.对多组去除量曲线的分析表明,此工艺不仅有着较高的去除率,而且稳定性良好.对表面粗糙度测量的结果表明,使用W7丸片即可获得粗糙度为42.758 am rms的镜面.减小所用丸片的粒度,工件表面粗糙度随之减小,使用WI.5丸片抛光后,最终获得了粗糙度为1.591 nm rms的光滑镜面.实验结果表明,固着磨料加工碳化硅反射镜工艺在粗研、精研、粗抛等加工阶段内可以取代传统的散粒磨料加工工艺. |
| 关 键 词： | 碳化硅反射镜 固着磨料 丸片 去除率 表面粗糙度 |
Experiment of grinding SiC mirror with fixed abrasive |
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| WANG Xu,ZHANG Xue-jun,XU Ling-di,PEI Shu,LIU Jian-zhuo.Experiment of grinding SiC mirror with fixed abrasive[J].Optics and Precision Engineering,2009,17(4). | |
| Authors: | WANG Xu ZHANG Xue-jun XU Ling-di PEI Shu LIU Jian-zhuo |
| Affiliation: | 1.Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology;Changchun Institute of Optics;Fine Mechanics and Physics;Chinese Academy of Science;Changchun 130033;China;2.Graduate University of Chinese Academy of Sciences;Beijing 100039;3.State Key Laboratory of Applied Optics;Chinese Academy of Sciences;China |
| Abstract: | A new technique called fixed abrasive surfacing technique is presented for manufacturing SiC reflecting mirrors,and a mirror with good quality is obtained by grinding with bigger diamond abrasives at a high speed and the fixed motion between abrasives and workpieces.The material removal characteristics on the SiC are measured at certain rotation speed and pressure by W7,W5,W3.5,W1.5 pellets,and the removal characteristic curves obtained by above experiments show that this method can offer a higher removal r... |
| Keywords: | SiC mirror fixed abrasive pellet cutting rate surface roughness |
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