Sb:SnO2/SiO2纳米复合薄膜的光学及气敏特性 |
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引用本文: | 顾铮先,梁培辉,张伟清.Sb:SnO2/SiO2纳米复合薄膜的光学及气敏特性[J].中国激光,2004,31(8):59-962. |
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作者姓名: | 顾铮先 梁培辉 张伟清 |
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作者单位: | [1]上海理工大学理学院光电功能薄膜实验室,上海200093 [2]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800 |
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摘 要: | 采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备了Sb:SnO2/SiO2复合膜。通过原子力显微镜(AFM)观察了薄膜样品的表面形貌,利用紫外-可见光谱,p-偏振光反射比角谱研究了复合薄膜的光学特性。结果表明,薄膜中的晶粒具有纳米尺寸(~35nm)的大小,比表面积大,孔隙率高;薄膜的透光率高,可见光波段近95%;其光学禁带宽度约3.67eV。因此Sb:SnO2/SiO2纳米复合膜可作为气敏薄膜的理想选择。通过对三种不同的气体C3H8,C2H5OH及NH3气敏特性的测试表明,Sb掺杂大大提高了SnO2薄膜对C2H5OH的灵敏度,纳米Sb:SnO2/SiO2复合膜的气敏灵敏度高于纯SnO2薄膜及Sb掺杂的SnO2薄膜。
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关 键 词: | 薄膜 纳米薄膜 p-偏振光反射比 光学参数 吸收边 气敏特性 |
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