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半导体用高纯度工业药品的最近动向

引用本文：	吕洪久.半导体用高纯度工业药品的最近动向[J].化工新型材料,1986(12).

作者姓名：	吕洪久

摘要：	半导体器件制造技术的重要课题是微细加工和高集成化、高可靠性。最近微细加工技术的进步对集成电路(IC)的高集成化作出了很大贡献。
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