| 乙烯掺杂APCVD法沉积非晶硅薄膜的光学特性 |
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| 引用本文： | 詹宝华,宋晨路,刘涌,朱建强,韩高荣. 乙烯掺杂APCVD法沉积非晶硅薄膜的光学特性[J]. 材料科学与工程学报, 2005, 23(6): 843-845 |
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| 作者姓名： | 詹宝华 宋晨路 刘涌 朱建强 韩高荣 |
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| 作者单位： | 浙江大学材料科学与工程系,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | ![]()
通过硅烷、乙烯和氮气的混合气体在620下采用常压化学气相沉积(APCVD)法沉积了非晶硅薄膜,讨论了乙烯/硅烷的体积比(R=VC2H4/VsiH4)对薄膜的光学性质的影响.用Raman光谱、红外光谱和紫外-可见光光谱仪对薄膜进行表征.结果表明通过乙烯掺杂制备的薄膜样品中存在着Si-C键,在R值变化的开始阶段薄膜的光学带隙随着R值增大而增大,在R=0.1时达到最大值,然后随着R值的增大而减小.
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| 关 键 词： | APCVD 非晶硅薄膜 红外光谱 紫外-可见光光谱 光学带隙 |
| 文章编号： | 1673-2812(2005)06-0843-03 |
| 修稿时间： | 2005-02-10 |
Optical Properties of Ethylene-doped Amorphous Si Film Prepared by APCVD |
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| ZHAN Bao-hua,SONG Chen-lu,LIU Yong,ZHU Jian-qiang,HAN Gao-rong. Optical Properties of Ethylene-doped Amorphous Si Film Prepared by APCVD[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2005, 23(6): 843-845 |
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| Authors: | ZHAN Bao-hua SONG Chen-lu LIU Yong ZHU Jian-qiang HAN Gao-rong |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | APCVD amorphous Si FTIR UV-VIS optical gap |
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