| SiC的添加对AlN/Mo/SiC复合陶瓷的制备和性能影响探究 |
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| 引用本文： | 董茜,杨志民.SiC的添加对AlN/Mo/SiC复合陶瓷的制备和性能影响探究[J].稀有金属,2011,35(6). |
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| 作者姓名： | 董茜 杨志民 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院先进电子材料研究所,北京,100088 |
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| 基金项目： | 北京有色金属研究总院创新技术基金 |
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| 摘 要： | 以氮化铝(AlN),钼(Mo),碳化硅(SiC)为原料,采用放电等离子烧结的方式,在1700℃,30 MPa制备出致密度高达98.5％的SiC添加的AlN/Mo复合陶瓷.采用XRD,FESEM,Agilent4284型LCR自动测试仪,网络分析仪及激光导热仪对样品的微观形貌,导电性能,介电性能和热导率进行了测试分析.研究结果表明:采用放电等离子烧结工艺,在较低的温度下可以制备出组织致密均匀的AlN/Mo/SiC复合材料,但随着SiC添加含量的增加,当SiC的体积含量占到总体的60％时,复合材料的致密度又会出现明显的下降.添加SiC后,相对于AlN/Mo复合陶瓷,复合材料的电阻率得以进行有效的控制,不会出现非线性突变-渗流现象,而是在一定的范围内缓慢下降.在26.5～40.0 GHz下复合材料的介电常数和介电损耗均随着SiC含量的增加而增加.复合材料的热导率随着SiC含量的增加而下降:当致密度高于某临界值时,其热导率主要受SiC含量及其分布状态的影响,随着SiC含量的增加呈缓慢下降的趋势；而当致密度低于临界值后,致密度成为热导率的决定性因素,使得复合材料的热导率随着致密度的降低快速下降.
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| 关 键 词： | A1N/Mo/SiC复合陶瓷 放电等离子烧结 电阻率 介电性能 热导率 |
Effect of SiC on Fabrication and Properties of AlN/Mo/SiC Composite Ceramics |
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| Dong Qian,Yang Zhimin.Effect of SiC on Fabrication and Properties of AlN/Mo/SiC Composite Ceramics[J].Chinese Journal of Rare Metals,2011,35(6). |
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| Authors: | Dong Qian Yang Zhimin |
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| Affiliation: | Dong Qian,Yang Zhimin(Advanced Electronic Materials Institute,General Research Institute for Non-Ferrous Metals,Beijing 100088,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AlN/Mo/SiC composite ceramics spark plasma sintering electric resistivity dielectric property thermal conductivity |
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