| LC-11型强流离子注入机剂量控制器 |
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| 引用本文： | 杨建生.LC-11型强流离子注入机剂量控制器[J].微细加工技术,1997(4). |
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| 作者姓名： | 杨建生 |
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| 作者单位： | 电子工业部第48研究所!长沙，410111 |
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| 摘 要： | 本文介绍了LG－11型强流离子注入机全机械扫描剂量控制器的工作原理，硬件结构和软件框图。
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| 关 键 词： | 强流离子注入机 剂量控制器 均匀性和重复性 |
DOSE CONTROLLER FOR LC11 HIGH-CURRENT ION IMPLANTER |
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| Yang Jiansheng.DOSE CONTROLLER FOR LC11 HIGH-CURRENT ION IMPLANTER[J].Microfabrication Technology,1997(4). |
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| Authors: | Yang Jiansheng |
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| Affiliation: | 48th Research Institute of MEI. Changsha 410111 |
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| Abstract: | This paper describes the Operating principle ,hardware and software structure of dose controller for LC11 high current ion implanter in which full mechnical scan is adopted |
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| Keywords: | high-current ion implanter Dose controller uniformity repeatability |
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