顶面集电极接触的微波功率晶体管(第三部分)

一、器件特性1.1 引言为了估计每一批的质量与制作方法之不同的依赖关系,要考虑四个主要的性能,这些性能是:直流特性、在1.5千兆赫下的射频特性、单个和多个单胞的功率均分以及射频阻抗特性。对顶面集电极接触和一般的集电极接触结构都作了性能上的估价。对六个特定的批次作了性能测试和单胞并联研究。这些批次包括(100)硅制作的不同结深、改进的 V 形槽金属化层的光刻和背面扩散结果。