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CMOS器件实验室总剂量辐照评估方法研究
引用本文:何宝平,张凤祁,姚志斌,罗尹虹.CMOS器件实验室总剂量辐照评估方法研究[J].核电子学与探测技术,2006,26(5):656-660.
作者姓名:何宝平  张凤祁  姚志斌  罗尹虹
作者单位:西北核技术研究所,陕西西安,710024
摘    要:主要研究了LH4007RH-CMOS器件与60Co γ射线辐照总剂量、剂量率以及辐照后退火时间和温度的响应关系.试验研究表明,按照美军标1019.4试验步骤,如果器件经0.5~3Gy/s高剂量率辐照后再附加25℃的室温退火,评估氧化物陷阱电荷效应就显得不太保守.对于评估器件空间界面态效应,建议仍使用一星期 100℃的高温退火.

关 键 词:退火  辐照评估  总剂量  低剂量率
文章编号:0258-0934(2006)05-0656-04
修稿时间:2005年4月10日

Test and research on estimating method of total dose irradiation at laboratory environment for CMOS space electronics
HE Bao-ping,ZHANG Feng-qi,YAO Zhi-bin,LUO Yin-hong.Test and research on estimating method of total dose irradiation at laboratory environment for CMOS space electronics[J].Nuclear Electronics & Detection Technology,2006,26(5):656-660.
Authors:HE Bao-ping  ZHANG Feng-qi  YAO Zhi-bin  LUO Yin-hong
Abstract:
Keywords:anneal  total dose  low dose rate  irradiation estimate
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