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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
(英)分子束外延生长InAsSb材料的组分控制
作者姓名:
孙庆灵
王禄
姚官生
曹先存
王文奇
孙令
王文新
贾海强
陈弘
作者单位:
中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所
摘 要:
采用分子束外延方法在GaAs和GaSb衬底上生长了一系列InAsSb薄膜,研究了Sb组分与Sb4束流间关系.实验发现,在分子束外延生长中,相比As原子, Sb原子更易并入晶格中.利用该特性可较好实现InAsSb材料的组分控制.
关 键 词:
分子束外延
铟砷锑
组分控制
收稿时间:
2015-10-09
修稿时间:
2016-01-05
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