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(英)分子束外延生长InAsSb材料的组分控制
作者姓名:孙庆灵  王禄  姚官生  曹先存  王文奇  孙令  王文新  贾海强  陈弘
作者单位:中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所
摘    要:采用分子束外延方法在GaAs和GaSb衬底上生长了一系列InAsSb薄膜,研究了Sb组分与Sb4束流间关系.实验发现,在分子束外延生长中,相比As原子, Sb原子更易并入晶格中.利用该特性可较好实现InAsSb材料的组分控制.

关 键 词:分子束外延   铟砷锑   组分控制
收稿时间:2015-10-09
修稿时间:2016-01-05
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