| 微执行器的研究与展望 |
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| 引用本文： | 陈兵芽,刘莹,胡敏,李小兵,李一冰,王强.微执行器的研究与展望[J].微纳电子技术,2005,42(12):561-565. |
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| 作者姓名： | 陈兵芽 刘莹 胡敏 李小兵 李一冰 王强 |
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| 作者单位： | 1. 南昌大学机电工程学院,南昌,330029;南昌航空工业学院测控系,南昌,330063
2. 南昌大学机电工程学院,南昌,330029 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50275071) |
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| 摘 要： | 在微机电系统中,微执行器是核心部件。为了优化设计微执行器,通过对比近年来各种微执行器的研究和发展,系统地总结了线性位移微执行器所采用的驱动原理、驱动方式和应用以及存在的优缺点等。针对热执行器,提出了个人的一些见解。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微执行器 线性 驱动方式 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)12-0561-05 |
| 修稿时间： | 2005年6月3日 |
The Research and Prospect of Microactuator |
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| CHEN Bing-ya,LIU Ying,HU Min,LI Xiao-bing,LI Yi-bing,WANG Qiang.The Research and Prospect of Microactuator[J].Micronanoelectronic Technology,2005,42(12):561-565. |
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| Authors: | CHEN Bing-ya LIU Ying HU Min LI Xiao-bing LI Yi-bing WANG Qiang |
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| Affiliation: | CHEN Bing-ya1,2,LIU Ying1,HU Min1,LI Xiao-bing1,LI Yi-bing1,WANG Qiang1 |
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| Abstract: | Microactuator is a kernel part of MEMS.The research and development of microactuators in recent years are reviewed.The actuating principles,actuating modes,application,and their advantages and disadvantages are outlined in order to optimize the design of actuators.Some individual opinions are put forward on the thermal actuators. |
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| Keywords: | MEMS microactuators linear actuating mode |
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