| 蒙特卡罗法模拟电子表面弹性碰撞 |
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| 引用本文： | 朱建国. 蒙特卡罗法模拟电子表面弹性碰撞[J]. 电子显微学报, 1989, 8(1): 34-43 |
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| 作者姓名： | 朱建国 |
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| 作者单位： | 四川大学物理系 |
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| 摘 要： | 用蒙特卡罗法模拟电子在固体表面的弹性碰撞过程,得到电子的弹性反射系数η_E及弹性背散射电子的角分布。给出η_E与电子非弹性平均自由程(IMFP)λ的函数关系,用η_E的实验值推算出λ。与文献报道的λ实验值及Seah,Penn等经验公式计算的λ值相比,发现本文计算的λ与实验值符合较好。
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| 关 键 词： | 蒙特卡罗法 电子 弹性碰撞 |
Monte Carlo Simulation Elastic Collision of Electron from Surface |
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| Zhu Chienkuo. Monte Carlo Simulation Elastic Collision of Electron from Surface[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 1989, 8(1): 34-43 |
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| Authors: | Zhu Chienkuo |
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| Affiliation: | Dep.of Phy.Sichuan Uni. |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Monte Carlo elastic collision IMFP. |
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