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Al2O3膜内荷电粒子的研究
引用本文：王力衡,陈培基.Al2O3膜内荷电粒子的研究[J].电子元件,1989(1):24-28.
作者姓名：王力衡  陈培基
作者单位：不详
摘    要：
关 键 词：Al2O3膜  荷电粒子  TsC法
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