| Al掺杂ZnO薄膜的微结构及光学特性研究 |
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| 引用本文： | 孟军霞,马书懿,陈海霞,陶亚明,侯丽莉,贾迎飞,尚小荣.Al掺杂ZnO薄膜的微结构及光学特性研究[J].功能材料,2010,41(8). |
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| 作者姓名： | 孟军霞 马书懿 陈海霞 陶亚明 侯丽莉 贾迎飞 尚小荣 |
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| 作者单位： | 西北师范大学,物理与电子工程学院,甘肃,兰州,730070 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，甘肃省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备出不同Al掺杂量的ZnO(AZO)薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致荧光发光(PL)等系统研究了不同Al掺杂量对ZnO薄膜的结晶性能、表面形貌和光学特性等的影响。结果显示,随着Al掺杂量的增加,薄膜的(002)衍射峰先增强后减弱,同时出现了(100)、(101)和(110)衍射峰,表明我们制备的AZO薄膜为多晶纤锌矿结构,适量的Al掺杂可提高ZnO薄膜的结晶质量,然而AZO薄膜的表面平整、晶粒致密均匀。薄膜在紫外-可见光范围的透过率超过90%,同时随着Al掺杂量的增加,薄膜的光学带隙值先增大,后减小。这与采用量子限域模型对薄膜的光学带隙作出相应的理论计算所得结果的变化趋势完全一致。
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| 关 键 词： | 磁控溅射法 AZO薄膜 结构特性 光学特性 量子限域 |
Study on the micro-structural and optical properties of Al doped ZnO films |
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| MENG Jun-xia,MA Shu-yi,CHEN Hai-xia,TAO Ya-ming,HOU Li-li,JIA Ying-fei,SHANG Xiao-rong.Study on the micro-structural and optical properties of Al doped ZnO films[J].Journal of Functional Materials,2010,41(8). |
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| Authors: | MENG Jun-xia MA Shu-yi CHEN Hai-xia TAO Ya-ming HOU Li-li JIA Ying-fei SHANG Xiao-rong |
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