| 用于MEMS振镜激光扫描的显微物镜设计 |
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| 作者姓名： | 王兴宇 杨照清 薛萌 郭汉明 |
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| 作者单位： | 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093;上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093;上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093 |
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| 基金项目： | 上海市地方能力建设项目(21010502900) |
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| 摘 要： | 为满足微机电系统（micro-electro-mechanical system,MEMS）二维激光扫描系统对显微物镜小入瞳直径、大入射角度、大视场的要求,利用光学设计软件Zemax设计了一款入瞳直径为1.1 mm,可匹配MEMS二维振镜±18°大扫描角度的近红外无限共轭微型显微物镜。该物镜总长小于23 mm,数值孔径为0.4,分辨率为1.26μm,工作距为900μm,各项像差校正良好,满足使用需求。设计结果表明,该微型显微物镜可满足便携式皮肤检测仪器的MEMS二维振镜激光扫描系统的应用要求。
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| 关 键 词： | 光学设计 显微物镜 近红外 大视场 MEMS振镜 |
| 收稿时间： | 2022-12-01 |
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