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基于热膜探头的新型气体流量传感器研究
引用本文:赵伟国,宋执环,黄震威,梁国伟. 基于热膜探头的新型气体流量传感器研究[J]. 仪器仪表学报, 2009, 30(5)
作者姓名:赵伟国  宋执环  黄震威  梁国伟
作者单位:1. 工业控制技术国家重点实验室浙江大学控制科学与工程学系,杭州,310027;中国计量学院计量测试工程学院,杭州,310018
2. 工业控制技术国家重点实验室浙江大学控制科学与工程学系,杭州,310027
3. 中国计量学院计量测试工程学院,杭州,310018
摘    要:基于热膜探头的热传递原理,设计了一种新型的气体流量传感器.首先研究了在不同环境温度和电流下热膜探头的温度特性,确定其工作电流.然后分析热膜探头中测量电阻和补偿电阻之间的关系,设计了具有温度补偿功能的气体流量传感器电路,减小了环境温度对气体流量测量的影响.最后根据气体流量标定实验数据,建立了流量传感器的数学模型.实验结果表明,该气体流量传感器具有较好的一致性,测量精度优于0.8%,流量量程比达100∶1.

关 键 词:气体  流量传感器  热膜探头

Study on new gas flow sensor based on hot-film probe
Zhao Weiguo,Song Zhihuan,Huang Zhenwei,Liang Guowei. Study on new gas flow sensor based on hot-film probe[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2009, 30(5)
Authors:Zhao Weiguo  Song Zhihuan  Huang Zhenwei  Liang Guowei
Abstract:
Keywords:
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