| Cr/CrN/Cu-TiN膜的成分与性能研究 |
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| 引用本文： | 吴俊杰,廖平,李慕勤,吴明忠,张德秋,孙薇薇.Cr/CrN/Cu-TiN膜的成分与性能研究[J].真空,2015,52(2). |
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| 作者姓名： | 吴俊杰 廖平 李慕勤 吴明忠 张德秋 孙薇薇 |
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| 作者单位： | 佳木斯大学教育部金属耐磨材料与表面技术工程研究中心,黑龙江佳木斯,154000 |
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| 摘 要： | 为了使手术器械具有疏水抗菌性,我们在手术器械表面制备了具有微纳米结构的Cr/Cr N/Cu-Ti N膜。基体表面微纳米化用化学刻蚀法,膜层制备用高功率脉冲磁控溅射法,试样检测用SEM、EDS、接触角测量仪和涂层附着力自动划痕仪等。试样薄膜抗菌元素Cu含量随偏压增大从3.09%降到1.77%;膜基结合力随偏压增大呈先增后减趋势,-50 V时膜基结合力最大,为34 N;比较基体未经刻蚀处理和经过微纳米化刻蚀处理的试样的疏水性,差异明显,前者的水接触角为78°,后者的水接触角为132°。
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| 关 键 词： | 偏压 膜基结合力 Cu含量 微纳米结构 疏水抗菌性 |
Composition and performance research of Cr/CrN/Cu-TiN coating |
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| WU Jun-jie,LIAO Ping,LI Mu-qin,WU Ming-zhong,ZHANG De-qiu,SUN Wei-wei.Composition and performance research of Cr/CrN/Cu-TiN coating[J].Vacuum,2015,52(2). |
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| Authors: | WU Jun-jie LIAO Ping LI Mu-qin WU Ming-zhong ZHANG De-qiu SUN Wei-wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | bias voltage adhesion Cu content micro/nano structure hydrophobic and antibacterial |
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