| 小型磁偏转质谱计离子源设计与验证 |
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| 引用本文： | 赵以德,马亚芳,李泰国,郭美如,肖玉华. 小型磁偏转质谱计离子源设计与验证[J]. 真空, 2015, 52(2) |
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| 作者姓名： | 赵以德 马亚芳 李泰国 郭美如 肖玉华 |
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| 作者单位： | 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,甘肃兰州,730000 |
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| 摘 要： | 离子源是质谱计的"心脏",其很大程度上直接决定了质谱计的灵敏度、分辨率等主要性能指标,因此需要对其结构和供配电关系等精心设计。针对空间环境探测应用目标,开展了小型磁偏转质谱计离子源的设计、仿真分析和试验测试。阐述了离子源的设计结构、供配电关系以及仿真分析和试验验证情况。通过分析得到了电压参数对离子束引出能力和束发散角的影响结果,通过试验验证了离子源的主要性能指标和抗力学环境能力满足设计要求。
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| 关 键 词： | 小型磁偏转质谱计 离子源 设计 仿真分析 |
An ion source for a miniature magnetic sector mass spectrometer |
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| ZHAO Yi-de,MA Ya-fang,LI Tai-guo,GUO Mei-ru,XIAO Yu-hua. An ion source for a miniature magnetic sector mass spectrometer[J]. Vacuum(China), 2015, 52(2) |
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| Authors: | ZHAO Yi-de MA Ya-fang LI Tai-guo GUO Mei-ru XIAO Yu-hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | miniature magnetic sector mass spectrometer ion source design simulation |
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