| HMDS预处理系统 |
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| 引用本文： | 庞克俭.HMDS预处理系统[J].电子工业专用设备,2006,35(10):70-72. |
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| 作者姓名： | 庞克俭 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北,石家庄,050051 |
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| 摘 要： | 讲述了HMDS预处理工艺过程,HMDS预处理系统的优越性及该系统的工作原理与结构。
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| 关 键 词： | 六甲基二硅氮烷 涂胶 预处理 疏水 |
| 文章编号： | 1004-4507(2006)10-0070-03 |
| 收稿时间： | 09 10 2006 12:00AM |
| 修稿时间： | 2006年9月10日 |
HMDS Pre-process System |
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| PANG Ke-jian.HMDS Pre-process System[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2006,35(10):70-72. |
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| Authors: | PANG Ke-jian |
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| Affiliation: | The 13th Research Institute of CETC, ShiJiazhuang 2050051 |
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| Abstract: | Describes the course of HMDS pre-process , the advantage of HMDS pre-process system, describes the working theory and system structure of this system. |
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| Keywords: | Hexamethyldisilazane Resist coating Pre-process Hydrophobic |
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