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| 热稳定自旋阀磁传感器及其性能优化研究 | |
| 引用本文： | 郑洋,曲炳郡,叶双莉,李伟,任天令,刘理天.热稳定自旋阀磁传感器及其性能优化研究[J].微纳电子技术,2007(8). |
| 作者姓名： | 郑洋 曲炳郡 叶双莉 李伟 任天令 刘理天 |
| 作者单位： | 清华大学,微电子所,北京,100084 清华大学,微电子所,北京,100084 清华大学,微电子所,北京,100084 清华大学,微电子所,北京,100084 清华大学,微电子所,北京,100084 清华大学,微电子所,北京,100084 |
| 摘 要： | 对一种Ta/NiFeCr/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta结构的顶钉扎自旋阀进行了优化.对自旋阀各层材料在整个结构中所起的作用进行了分析,并通过实验,研究自旋阀中每一层的厚度对磁电阻变化率(MR)的影响.最终得到了在80℃下磁电阻变化率高达10.5%的GMR自旋阀. |
| 关 键 词： | 巨磁电阻 自旋阀 磁传感器 |
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