| 扩散/氧化工艺控制管理系统的研制 |
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| 引用本文： | 李金凤,张天开,李长启,刘德生.扩散/氧化工艺控制管理系统的研制[J].微计算机信息,2011(10). |
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| 作者姓名： | 李金凤 张天开 李长启 刘德生 |
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| 作者单位： | 青岛理工大学自动化工程学院; |
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| 摘 要： | 本文给出一种半导体扩散/氧化生产工艺控制管理系统。系统由下位工艺控制单元和上位管理计算机组成。下位工艺控制单元实现扩散/氧化工艺要求的温度、气体流量控制及推拉舟位置控制。上位管理计算机实现扩散/氧化工艺管理、分析、与下位工艺控制单元互传信息。
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| 关 键 词： | 扩散/氧化 下位工艺控制单元 上位管理计算机 |
Development of Diffusion/Oxidation Process Control Management System |
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| LI Jin-feng ZHANG Tian-kai LI Chang-qi LIU De-sheng.Development of Diffusion/Oxidation Process Control Management System[J].Control & Automation,2011(10). |
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| Authors: | LI Jin-feng ZHANG Tian-kai LI Chang-qi LIU De-sheng |
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| Affiliation: | LI Jin-feng ZHANG Tian-kai LI Chang-qi LIU De-sheng(Qingdao Technological University College of Automation Engineering,Qingdao,Shandong,266033,China) |
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| Abstract: | This paper presents a semiconductor diffusion/oxidation production process control management system.The system comprises the lower control unit and the upper management computer.The lower control unit achieves the control of temperature,gas flow and push-pull boat based on the diffusion/oxidation process.The upper management computer achieves diffusion/oxidation process management,analysis,and the exchange of information with the lower control unit. |
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| Keywords: | diffusion/oxidation the lower control unit the upper management computer |
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