| φ200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究 |
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| 引用本文： | 任丙彦,褚世君,吴鑫,于建秀,孙秀菊.φ200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究[J].半导体学报,2008,29(9):1790-1793. |
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| 作者姓名： | 任丙彦 褚世君 吴鑫 于建秀 孙秀菊 |
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| 作者单位： | 河北工业大学材料学院,天津,300130;河北工业大学材料学院,天津,300130;河北工业大学材料学院,天津,300130;河北工业大学材料学院,天津,300130;河北工业大学材料学院,天津,300130 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金NO：60576002 |
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| 摘 要： | 利用数值模拟，对CZ硅单晶生长系统中导流系统调整和改进，得到不同导流系统下的氩气流场和全局温场. 研究发现在导流系统中引入导流筒及冷却功能后，氩气流场得到明显的改善，晶体中纵向温度梯度均匀性改善，固液界面趋于平坦，有利于结晶潜热的散发和单晶径向电阻率的均匀性. 研究表明改进导流系统能提高结晶潜热散发速率，有利于提高晶体拉速.
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| 关 键 词： | 数值模拟 直拉硅单晶 结晶潜热 导流筒 |
| 收稿时间： | 3/14/2008 7:57:39 PM |
| 修稿时间： | 6/2/2008 6:25:31 PM |
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