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铝合金等离子体基离子注入氮/钛结构及摩擦学特性
引用本文:廖家轩,夏立芳,孙跃.铝合金等离子体基离子注入氮/钛结构及摩擦学特性[J].材料热处理学报,2001,22(2):9-14.
作者姓名:廖家轩  夏立芳  孙跃
作者单位:哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,
基金项目:国家自然科学基金资助 !(59771 0 59)
摘    要:通过X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GXRD)分析测定了铝合金LY12等离子体基离子注入氮再注入钛的改性层成分分布及相组成。测量了纳米硬度,进行了摩擦磨损试验及磨痕形貌观察。讨论了磁控靶溅射电流40mA、400mA对改性层结构和摩擦学性能的影响。结果表明,氮在注入层呈高斯分布,钛沿注入方向逐渐减少,钛的注入使氮的分布宽,在400mA下注钛有钛的沉积层出现。和LY12相比,摩擦学性能显著提高,粘着磨损程度显著减轻,400mA下改善幅度更大,形成TiO1、TiN、TiAl、Al2O3、AIN或Ti相是主要原因。

关 键 词:铝合金  等离子体  离子注入  纳米硬度  摩擦学  粘着磨损
文章编号:1009-6264(2001)02-0009-06

The Structure and Tribological Characteristic for Aluminum Alloy Implanted with N/Ti by PBII
LIAO Jiaxuan,\ XIA Lifang,\ SUN Yue.The Structure and Tribological Characteristic for Aluminum Alloy Implanted with N/Ti by PBII[J].Transactions of Materials and Heat Treatment,2001,22(2):9-14.
Authors:LIAO Jiaxuan  \ XIA Lifang  \ SUN Yue
Abstract:
Keywords:aluminum alloy  \ PBII  \ nano\|hardness  \ tribology  \ adhesive waer
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