| MEMS光声气体传感器光声腔的研究 |
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| 引用本文： | 王建业,纪新明,吴飞蝶,周嘉,黄宜平. MEMS光声气体传感器光声腔的研究[J]. 传感器与微系统, 2006, 25(2): 86-88 |
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| 作者姓名： | 王建业 纪新明 吴飞蝶 周嘉 黄宜平 |
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| 作者单位： | 复旦大学,微电子系,ASIC和系统国家重点实验室,上海,200433 |
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| 摘 要： | 光声气体传感器在微量气体探测方面具有许多优势,光声气体传感器的MEMS化可降低成本,提高传感器性能,具有重要的实际意义.依据光声传感器的原理,结合MEMS加工技术,研究制作了一种光声腔,同时,进行了一定的理论模拟,为实现光声气体传感器的MEMS化打下重要基础.
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| 关 键 词： | 光声气体传感器 微机电技术 光声腔 |
| 文章编号： | 1000-9787（2006）02-0086-03 |
| 收稿时间： | 2005-07-24 |
| 修稿时间： | 2005-07-24 |
Study on PA cells for MEMS PA gas sensors |
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| WANG Jian-ye,JI Xin-ming,WU Fei-die,ZHOU Jia,HUANG Yi-ping. Study on PA cells for MEMS PA gas sensors[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2006, 25(2): 86-88 |
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| Authors: | WANG Jian-ye JI Xin-ming WU Fei-die ZHOU Jia HUANG Yi-ping |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of ASIC and System,Department of Microelectronics,Fudan University, Shanghai 200433, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | photoacoustic(PA) gas sensor MEMS techniques PA cell |
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