| 8×8 MEMS光开关阵列的制作 |
| |
| 引用本文： | 贾翠萍,董玮,周敬然,刘彩霞,臧会东,玄伟,徐宝琨,陈维友.8×8 MEMS光开关阵列的制作[J].半导体学报,2006,27(z1):343-346. |
| |
| 作者姓名： | 贾翠萍 董玮 周敬然 刘彩霞 臧会东 玄伟 徐宝琨 陈维友 |
| |
| 作者单位： | 吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子国家重点实验室,长春,130012,吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子国家重点实验室,长春,130012;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,长春,130033 |
| |
| 摘 要： | 采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微反射镜上电极阵列,考虑到在腐蚀时微反射镜有很大的侧蚀,对开关结构进行了调整.在偏一定角度的(111)硅片上制作了倾斜的下电极.整个开关制作工艺简单,成本低.开关寿命大于1000万次,开关时间小于10ms.
|
| 关 键 词： | 光开关 (110)硅片 微反射镜 开关时间 MEMS 开关阵列 制作工艺 Fabrication 开关时间 寿命 成本 倾斜 定角度 调整 开关结构 侧蚀 腐蚀特性 电极阵列 微反射镜 光开关 硅片 结晶学 溶液 利用 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)S0-0343-04 |
| 修稿时间： | 2005年10月18日 |
Fabrication of 8×8 MEMS Optical Switch Array |
| |
| Jia Cuiping,Dong Wei,Zhou Jingran,Liu Caixia,Zang Huidong,Xuan Wei,Xu Baokun,Chen Weiyou.Fabrication of 8×8 MEMS Optical Switch Array[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(z1):343-346. |
| |
| Authors: | Jia Cuiping Dong Wei Zhou Jingran Liu Caixia Zang Huidong Xuan Wei Xu Baokun Chen Weiyou |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
|
