| 基于权值的微机械数模转换器 |
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| 引用本文： | 刘清惓,章彬,黄庆安. 基于权值的微机械数模转换器[J]. 固体电子学研究与进展, 2003, 23(1): 103-106,132 |
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| 作者姓名： | 刘清惓 章彬 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (60 0 760 2 8),高等学校博士点专项基金 (2 0 0 0 0 2 862 0 )资助项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种新颖的基于权值的微机械数模转换器 ,它的原理与电路中的权电阻数模转换器类似。通过改变纵向梁的长度获得不同的刚性值作为比例因子 ,从而实现由二进制电压输入到模拟位移输出的转换。为了减小误差 ,对结构作了优化设计 ,同时还考虑并解决了零稳定性问题 ,提高了输出位移的精度。文中给出了有限元方法对由热执行器阵列驱动的数模转换器的输出位移分析的结果 ,并对几种微机械数模转换器的设计进行了比较。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 数模转换器 微执行器 有限元分析 |
| 文章编号： | 1000-3819(2003)01-103-04 |
Design and Analysis of Microelectromechanical Digital-to-Analog Converters Based on Scale Factor |
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| Abstract: | A novel microelectromechanical digital-to-analog converter(MEMDAC) analogous to electronic weighted-resistor DAC is proposed in this paper.The vertical beams in different length are used in the structure and the stiffness is employed as the scale factor.The causes of the error are discussed and design modifications are provided.For solving the problem of zero-stability,bidirectional actuator arrays are utilized.Finite element analysis shows that the output error deviated from the ideal is 0.004 μm,which is smaller than the C-2C DAC model reported previously.Alternative designs are introduced for comparison. |
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| Keywords: | MEMS digital-to-analog converter microactuator finite element analysis |
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