|
|||||
|
|
| 集成风速计片上系统的计算机模拟 | |
| 引用本文： | 朱昊,秦明,黄庆安.集成风速计片上系统的计算机模拟[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 朱昊 秦明 黄庆安 |
| 摘 要： | 将MEMS器件与CMOS电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小、便于控制、易于大批量生产等优点,本文从风速计的工作场入手,运用了有限元、数据拟合、等效电路及SPICE宏单元的方法对片上系统进行模拟,从而直接模拟出信号状况,有利于片上处理电路和控制电路的匹配设计,提高了设计效率.文中给出了风速计流体场的有限元分析结果,并通过拟合的方法将输出的温度差输出到电路等效的热堆,信号和噪声经过片上集成的放大器输出到芯片外,有利于温度场、热敏感元件、放大电路的优化设计. |
| 关 键 词： | CMOS MEMS 风速计 模拟 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |