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高稳定性电热膜喷镀装置自动控制系统
引用本文:
罗勇.高稳定性电热膜喷镀装置自动控制系统[J].基础自动化,1998,5(4):9-11.
作者姓名:
罗勇
摘 要:
介绍了对电热膜喷镀装置的改进设计。阐述了该装置控制系统的基本组成,控制线路、控制系统的主要特点及有关技术。
关 键 词:
电热膜喷镀装置
电热元件
自动控制系统
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