| 流延法制备钛酸锶钡厚膜 |
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| 引用本文： | 张五星,薛丽红,邹雪城,曾祥斌,尹盛.流延法制备钛酸锶钡厚膜[J].压电与声光,2006,28(3):314-316. |
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| 作者姓名： | 张五星 薛丽红 邹雪城 曾祥斌 尹盛 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074
2. 清华大学,化学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60306011) |
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| 摘 要： | 采用流延法在有凹槽的硅片上制备出钛酸锶钡((Ba,Sr)TiO3)厚膜材料。为了提高薄膜的致密性和降低烧结温度,采用溶胶沉淀法制备BST纳米粉末,并结合水热处理进一步提高其结晶性,降低颗粒中有机物的吸附量。所得BST厚膜烧结温度约为1 200℃。经1 000℃、5 h热处理后,BST厚膜厚约30μm,表面平整,且较致密。介温谱表明其相变温度约为30℃,介电损耗约为0.02,与薄膜材料相比,其介温变化率有较大的提高。
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| 关 键 词： | 钛酸锶钡 粉末 厚膜 凹槽 流延 |
| 文章编号： | 1004-2474(2006)03-0314-03 |
| 收稿时间： | 2004-11-12 |
| 修稿时间： | 2004年11月12 |
Fabrication of BST Thick Film by Tape Casting Method |
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| ZHANG Wu-xing,XUE Li-hong,ZHOU Xue-cheng,ZENG Xiang-bin,YIN Sheng.Fabrication of BST Thick Film by Tape Casting Method[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2006,28(3):314-316. |
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| Authors: | ZHANG Wu-xing XUE Li-hong ZHOU Xue-cheng ZENG Xiang-bin YIN Sheng |
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| Affiliation: | 1. Dept. of Electronic Science and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhang 430074, China 2. Dept. of Chemistry, Tsinghua University, Beijing 100084, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | (Ba Sr)TiO_3(BST) powders thick film groove tape casting |
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