极高真空获得技术和物理的晚近发展 |
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引用本文: | 达道安.极高真空获得技术和物理的晚近发展[J].真空,1985(5). |
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作者姓名: | 达道安 |
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作者单位: | 兰州物理研究所 |
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摘 要: | 极高真空技术是现代真空科学技术发展的前沿课题。它的开发必将把整个真空科学技术带到一个新的水平,产生更大的经济效益。本文将对八十年代极高真空获得技术和物理的发展概况作一回顾。 一、抽气方程 在真空容器中,当空间和热量处于均匀状态即在平衡态或准平衡态的情况下抽气方程是适用的。但在极高真空容器里,为了造成大面积的抽气面,一般使用吸气剂和低温泵。此时(1)式就不能完全成立,出现较大误差。达道安等1]2]人论述了这方面的问题。给出在非平衡态下的抽气方程应由气体分子数方程式代替。这项工作已在第八届国际真空会议上发表。华…
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