作者单位: | 中国科学院微电子研究所, 北京 100029;中国科学院硅器件技术重点实验室, 北京 100029,中国科学院微电子研究所, 北京 100029;中国科学院硅器件技术重点实验室, 北京 100029,中国科学院微电子研究所, 北京 100029;中国科学院硅器件技术重点实验室, 北京 100029,中国科学院微电子研究所, 北京 100029;中国科学院硅器件技术重点实验室, 北京 100029,中国科学院微电子研究所, 北京 100029;中国科学院硅器件技术重点实验室, 北京 100029,中国科学院微电子研究所, 北京 100029;中国科学院硅器件技术重点实验室, 北京 100029,中国原子能科学研究院 核物理研究所, 北京 102413,中国科学院近代物理研究所, 兰州 730000 |