|
|||||
|
|
| 碳化工艺对磁控管电子发射的影响 | |
| 作者姓名： | 张文亮 刘银波 |
| 作者单位： | 广东格兰仕微波生活电器制造有限公司 佛山 528305 |
| 基金项目： | 资助课题国家“十二·五”科技支撑计划“家电产品绿色制造技术集成开发与示范应用” |
| 摘 要： | 本文详细介绍了磁控管阴极碳化工艺,分析了碳化工艺的好坏对磁控管电子发射的影响;根据分析结果,对碳化工艺进行了改进,并对改进后新工艺的效果进行了验证。结果表明,工艺改进前碳化率波动范围相对较大,在9．50％-15．97％之间,工艺改进后为10．0％-12．3％,波动范围小,碳化率更稳定,一致性较好。 |
| 关 键 词： | 磁控管 阴极碳化 电子发射 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |