| 微机械电容式加速度传感器仿真分析 |
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| 引用本文： | 刁爱民,杨明国,刘树勇,杨庆超,胥震.微机械电容式加速度传感器仿真分析[J].仪表技术与传感器,2012(12):1-2,8. |
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| 作者姓名： | 刁爱民 杨明国 刘树勇 杨庆超 胥震 |
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| 作者单位： | 1. 海军工程大学科研部,湖北武汉,430033
2. 海军驻武汉三江航空集团代表室,湖北武汉,430033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金青年科学基金项目 |
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| 摘 要： | 微机械加速度传感器的检测模态特征频率和有效量程是进行传感器设计时必须要考虑的2个重要参数。文中在对传感器检测模态频率进行有限元分析的基础上,利用电路仿真软件Multisim对传感器等效电路进行了谐振频率分析,并根据线性度指标求得了传感器的有效量程,为微机械加速度传感器的设计提供了参考。
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| 关 键 词： | 微机电系统 电容传感器 Multisim 量程 |
Simulation Analysis of Micro-machined Accelerometer |
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| DIAO Ai-min
,
YANG Ming-guo
,
LIU Shu-yong
,
Yang Qing-chao
,
XU Zhen.Simulation Analysis of Micro-machined Accelerometer[J].Instrument Technique and Sensor,2012(12):1-2,8. |
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| Authors: | DIAO Ai-min YANG Ming-guo LIU Shu-yong Yang Qing-chao XU Zhen |
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| Affiliation: | 1(1.Office of Research and Development,Naval Univesity of Engineering,Wuhan 430033,China; 2.Navy Military Representative Office in China Sanjiang Space Group,Wuhan 430033,China) |
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| Abstract: | |
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